美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量計M-10SLPM-D氣體流量控制器MCR-500SLPM現(xiàn)貨批發(fā)MW-5SLPM

ALICAT設(shè)備被使用在全球不同領(lǐng)域中，如：科學(xué)研究、泄漏測試、環(huán)境監(jiān)測、真空鍍膜、半導(dǎo)體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、制藥、工業(yè)、過程控制、實驗室、OEM、替換熱式質(zhì)量流量計、泄漏測試,計量以及過程工藝氣體測量等。

M-0.5SCCM（2.5 sμlm）-M4000SLPM(4800SLPM)空氣流量計M-10SLPM-D氮氣流量計MWB-25SLPM-D-AL/Gas: Air 低壓損氣體流量計MW-5SLPM-D-DB9M-MODBUS,GAS:CH4甲烷氣體流量計MWB-500sccm-D-AL/Gas: Air便攜式氣體質(zhì)量流量計ALICAT代理商-蘇州知非機電設(shè)備有限公司0512-68733420/18962140620/13915513800

美國ALICAT艾利凱特質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器操作簡單、通用性強，多功能數(shù)字顯示屏動態(tài)顯示質(zhì)量流量、體積流量、溫度、壓力及設(shè)定值等過程參數(shù)；所有設(shè)備附有NIST可溯源校準證書、用戶支持及有條件的終身質(zhì)保。
25oC & 14.696 psia、20oC & 14.696 psia、0oC & 14.696 psia (三種工況供切換)
氣體選擇(Gas Select)5.0版預(yù)置98種常用氣體:
若為腐蝕性氣體或制冷劑，請參見MS系列質(zhì)量流量計。

氣體編輯器(COMPOSER) 為氣體選擇(Gas Select)功能5.0版大亮點，允許用戶自定義20組混合氣體，每組可混合5種氣體。

美國ALICAT艾利凱特氣體質(zhì)量流量計
M 質(zhì)量流量計
MW低壓損質(zhì)量流量計 上圖選配背光彩色顯示屏
MW 低壓損質(zhì)量流量計(上圖選配背光彩色顯示屏)
Whisper低壓損質(zhì)量流量計
MW 大流量低壓損質(zhì)量流量計(上圖選配背光彩色顯示屏)
美國ALICAT艾利凱特M大流量質(zhì)量流量計 4000 slpm
M 大流量質(zhì)量流量計(4000 slpm)

質(zhì)量流量計 7-30 Vdc (4-20 mA 信號輸出須 15-30 Vdc)
供電電流 0.040 Amp (適用于 4-20 mA 模擬信號輸出)

質(zhì)量流量計用來測量過程氣體的流量，必須精密、可靠、通用性強且性價比高，美國ALICAT艾利凱特M系列質(zhì)量流量計同時兼容模擬與數(shù)字通訊，滿足用戶所有需求。
高精度、實時、多參數(shù)測量

同時測量質(zhì)量流量、體積流量、壓力及溫度，多至130種預(yù)置氣體，或通過氣體編輯器COMPOSER自定義混合氣…臺美國ALICAT艾利凱特質(zhì)量流量計集成了所有功能，無論過程系統(tǒng)怎樣多變，都能確保測量過程的高精度可靠。

豈止于快

內(nèi)置COMPOSER氣體編輯器允許用戶自定義混合氣體!
5毫秒快速響應(yīng)
瞬間啟動、無需預(yù)熱
**工作：無需連接電腦或PLC
屏幕顯示多種測量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
數(shù)字信號及模擬量信號輸出
美國ALICAT艾里卡特MCW/MCPW/MCRW/MCHW/MCRWH低壓損氣體質(zhì)量流量控制器
MCW-0.5SCCM-D
MCW-1SCCM-D
MCW-2SCCM-D
MCW-5SCCM-D
MCW-10SCCM-D
MCW-20SCCM-D
MCW-50SCCM-D
MCW-100SCCM-D
MCW-200SCCM-D
MCW-500SCCM-D
MCW-1SLPM-D
MCW-2SLPM-D

MCPW-5SLPM-D
MCPW-10SLPM-D

MCHW-5SLPM-D
MCHW-10SLPM-D

MCRW-5SLPM-D
MCRW-10SLPM-D
MCRW-20SLPM-D
MCRW-40SLPM-D
MCRW-50SLPM-D
MCRW-100SLPM-D
MCRW-250SLPM-D
MCRW-500SLPM-D
MCRWH-1000SLPM-D-PAR

艾里卡特MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器采用小型比例閥門控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。
MCDW-0.5SCCM-D
MCDW-1SCCM-D
MCDW-2SCCM-D
MCDW-5SCCM-D
MCDW-10SCCM-D
MCDW-20SCCM-D
MCDW-50SCCM-D
MCDW-100SCCM-D
MCDW-200SCCM-D
MCDW-500SCCM-D
MCDW-1SLPM-D
MCDW-2SLPM-D





ALICAT流量控制器

MC系列氣體質(zhì)量流量控制器
響應(yīng)式氣體流量控制，壓力波動
性能的質(zhì)量流量控制器只需將流量保持在您的設(shè)定值。艾里卡特MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可快速達到新的設(shè)定值，并保持該設(shè)定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能，確保相關(guān)產(chǎn)品能快速實現(xiàn)穩(wěn)定控制。
多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
耐用。MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環(huán)境影響的耐受性，我們可為您的質(zhì)量流量控制器構(gòu)建IP66等級防護。
艾里卡特Alicat提供先進的質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。


性能
可用量程：大0-5000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見零件編號標簽）
可調(diào)比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
可重復(fù)性：0.2%滿量程
標準質(zhì)量流量控制器響應(yīng)時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
無需預(yù)熱時間
 
工作條件
兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
 
包裝清單
MC系列氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
NIST可溯源校準證書
艾里卡特操作說明書
 
配件（需另行訂購）
過程端口接頭和過濾器
電源
通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
BB3和BB9多點式集線盒
Flow Vision軟件
查找配件
 
型號變體
低壓損型號，多60 psia（MCW系列）
高壓型號，160-320 psia（MCQ系列）
閥門內(nèi)置（確保與SEMI端口長度一致）型號（MCE系列）
配備氣動截止閥的型號，適合真空應(yīng)用（MCV系列）
腐蝕性氣體型號（MCS系列，見下文）
 
閥門選項
您可以為您的MC系列氣體質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預(yù)期過程條件下保持佳性能。
MC系列—選配小型比例控制閥，適用于20 slpm及以下量程
具有PCA名稱的MC系列—選配高性能比例控制閥，適用于壓力較高的某些應(yīng)用
MCP系列—選配大孔徑的小型比例控制閥（對耐腐蝕系列產(chǎn)品不適用）
MCH系列—選配錘頭狀配置，將兩個小型閥門并排成對，用作一個閥門。
MCR系列—選配幾乎無摩擦的大型Rolamite比例閥，適用于50 slpm及以上流量
 
腐蝕性氣體（MCS系列）
MC系列氣體質(zhì)量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置（即MCS系列）可供選擇。該配置中，我們將閥門升級為303不銹鋼閥門，傳感器升級為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級為FFKM。對于某些腐蝕性氣體的整個流程，需采用316L不銹鋼，在這種情況下，我們可以同時將滿量程為20slpm或更小流量計的閥門（PCA型）和流量儀表主體部分升級為316L材質(zhì)。
 
結(jié)構(gòu)選項
通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
顯示屏（單色或彩色，內(nèi)置或面板安裝）
工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭）
彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）

MC
MCP
MCH
MCR
MCS
MCHS
MCRS

艾里卡特MC系列氣體質(zhì)量流量控制器采用小型比例閥門控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。

MC-0.5SCCM-D
MC-1SCCM-D
MC-2SCCM-D
MC-5SCCM-D
MC-10SCCM-D
MC-20SCCM-D
MC-50SCCM-D
MC-100SCCM-D
MC-200SCCM-D
MC-500SCCM-D
MC-1SLPM-D
MC-2SLPM-D
MC-5SLPM-D
MC-10SLPM-D
MC-20SLPM-D
艾里卡特MCP系列氣體質(zhì)量流量控制器采用大孔徑的小型閥門，適用于非腐蝕性氣體。
MCP-10SLPM-D
MCP-20SLPM-D
MCP-50SLPM-D
MCP-100SLPM-D
MCP-250SLPM-D

艾里卡特MCH系列氣體質(zhì)量流量控制器將兩個小型閥門并排成對，用作一個閥門，適用于非腐蝕性氣體。

MCH-10SLPM-D
MCH-20SLPM-D
MCH-50SLPM-D
MCH-100SLPM-D
MCH-250SLPM-D
MCH-500SLPM-D
MCPH-50SLPM-D
MCPH-100SLPM-D
MCPH-250SLPM-D
艾里卡特MCR系列氣體質(zhì)量流量控制器采用幾乎無摩擦的Rolamite閥門，可選用各種孔徑，實現(xiàn)對較大流量的控制，適用于非腐蝕性氣體。
MCR-50SLPM-D
MCR-100SLPM-D
MCR-250SLPM-D
MCR-500SLPM-D
MCR-1000SLPM-D
MCR-1500SLPM-D
MCR-2000SLPM-D-PAR
MCR-3000SLPM-D-PAR
MCRH-5000SLPM-D-PAR

艾里卡特MCS系列氣體質(zhì)量流量控制器采用小型比例閥門控制較小的流量，適用于腐蝕性氣體。

MCS-0.5SCCM-D
MCS-1SCCM-D
MCS-2SCCM-D
MCS-5SCCM-D
MCS-10SCCM-D
MCS-20SCCM-D
MCS-50SCCM-D
MCS-100SCCM-D
MCS-200SCCM-D
MCS-500SCCM-D
MCS-1SLPM-D
MCS-2SLPM-D
MCS-5SLPM-D
MCS-10SLPM-D
MCS-20SLPM-D
艾里卡特MCHS系列氣體質(zhì)量流量控制器適用于腐蝕性氣體，將兩個閥門并排成對，用作一個閥門，實現(xiàn)對高壓應(yīng)用的更強大控制。
MCHS-10SLPM-D
MCHS-20SLPM-D
MCHS-50SLPM-D
MCHS-100SLPM-D
MCHS-250SLPM-D
MCHS-500SLPM-D
艾里卡特MCRS系列氣體質(zhì)量流量控制器適用于腐蝕性氣體，采用幾乎無摩擦的Rolamite閥門，可選用各種孔徑，實現(xiàn)對較大流量的控制。
MCRS-50SLPM-D
MCRS-100SLPM-D
MCRS-250SLPM-D
MCRS-500SLPM-D
MCRS-1000SLPM-D
MCRS-1500SLPM-D
MCRS-2000SLPM-D-PAR
MCRS-3000SLPM-D-PAR

MCRHS-5000SLPM-D-PAR

美國艾里卡特ALICAT便攜式氣體質(zhì)量流量計 MB-10SLPM-D  
美國艾里卡特ALICAT液體流量控制器 LC-500sccm  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器 SZ020-LK2-A-L-C13-R4-DB9M-DS-052-0.5-104  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器 MCH-50SLPM-D-DB15H5M 5IN GAS:AIR  
美國ALICAT艾里卡特質(zhì)量流量計（氣耗儀） YQZ020-LL1-Y-L-C13-LJ-DB9M-058-6000-101  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量計 M-50SCCM-D/5M,GAS:AIR  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量計 M-20SLPM-D(±0.8Rd+0.2FS)%  
美國艾里卡特ALICAT雙閥壓力控制器 PCD-15PSIG-D-PVC30-IPC/5P,5IN,P1:50?PSIG,P2:ATM,VOL:100L,CLR  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器 MCRWH-1000SLPM-D-PAR  
美國艾里卡特ALICAT雙閥壓力控制器 PCD-100PSIG-D/5P  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器 MC-50SLPM-D/5P,52V,RIN,5IN,GAS:He,TOT,HC  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器 MCR-1500SLPM-D/5P,52V,RIN,5IN,GAS:AIR  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量計 YCZ020-LLI-E-L-C13-DB9M-10-104  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量計 MW-100SLPM-D  
美國ALICAT專業(yè)版軟件 FLOW vison  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量計 SZ020-LL1-Q-L-C13-DB9M-052-100-101  
美國艾里卡特ALICAT便攜式氣體質(zhì)量流量計 MB-1000SLPM-D/5M  
美國ALICAT轉(zhuǎn)換接頭 SS1210-1-12  
美國ALICAT轉(zhuǎn)換接頭 SS810-1-12  
美國ALICAT轉(zhuǎn)換接頭 SS400-1-12  
美國艾里卡特ALICAT高精度質(zhì)量流量控制器 MCR-500SLPM-D/HC  
美國艾里卡特ALICAT高精度質(zhì)量流量控制器 MCR-250SLPM-D/HC  
美國艾里卡特ALICAT雙閥壓力控制器 PCD-5PSIG-D  
美國艾里卡特ALICAT帶顯示耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器 SZ020-LKF5-J-L-C13-R4-DB9M-052-500-104  
美國艾里卡特ALICAT帶顯示耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器 SZ020-LKF5-G-L-C13-R4-DB9M-052-50-104  
美國艾里卡特ALICAT帶顯示低壓損質(zhì)量流量計 SZ020-LL1-M-L-C13-DB9M-050-3000-104  
美國艾里卡特ALICAT帶顯示低壓損質(zhì)量流量計 SZ020-LL1-J-L-C13-DB9M-050-500-104  
美國艾里卡特ALICAT帶顯示低壓損質(zhì)量流量計 SZ020-LD12-M-L-C13-DB9M-050-3000-104  
美國艾里卡特ALICAT帶顯示低壓損質(zhì)量流量計 SZ020-LD12-J-L-C13-DB9M-050-500-104  
美國艾里卡特ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器 MCRS-50SLPM-D-DB9M-G/CM,C2P,CIN,GAS:C2H2  
美國艾里卡特ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器 MCS-20SLPM-D-DB9M-G/CM,C2P,CIN,GAS:O2  
美國艾里卡特ALICAT便攜式氣體質(zhì)量流量計 MB-5SLPM-D  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量計 SZ020-LL1-O-L-C13-052-20-101  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量計 M-1000SLPM-D/5M,GAS:AIR  
美國艾里卡特ALICAT防爆型氣體流量控制器 MC-500SCCM-D-X  
美國艾里卡特ALICAT防爆型耐腐蝕氣體流量控制器 MCS-500SCCM-D-X  
美國艾里卡特ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器 MCS-500SCCM-D  
美國艾里卡特ALICAT防爆型氣體質(zhì)量流量計 MS-500SCCM-D-X(±0.8Rd+0.2FS)%  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量計 MS-500SCCM-D(±0.8Rd+0.2FS)%  
美國艾里卡特ALICAT防爆型氣體質(zhì)量流量計 M-500SCCM-D-X(±0.8Rd+0.2FS)%  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量計 M-1000SLPM-D-DB9/5M,GAS:He  
美國艾里卡特ALICAT液體質(zhì)量流量計 L-1SLPM-D  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器 MCS-10SCCM-D-HC 5M,5IN,GAS:AIR  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器 MCR-500SLPM-D/5M,5IN,GAS: Ar  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器 MCR-250SLPM-D/5M,5IN,GAS: Ar  

美國艾里卡特ALICAT壓力控制器PCS-500PSIG-D  
PCS-100PSIG-D  
PCS-30PSIG-D  
PCS-15PSIG-D  
PCS-5PSIG-D  
PC-500PSIG-D  
PC-100PSIG-D  
PC-30PSIG-D  
PC-15PSIG-D  
PC-5PSIG-D  
PC-1PSIG-D  
PC-2INH2OG-D  
美國艾里卡特ALICAT低壓損便攜式氣體質(zhì)量流量計 MWB-40SLPM-D  
美國艾里卡特ALICAT便攜式氣體質(zhì)量流量計 MB-100SLPM-D  
美國艾里卡特ALICAT便攜式氣體質(zhì)量流量計 MB-10SCCM-D  
美國艾里卡特ALICAT耐腐蝕高精度便攜式氣體質(zhì)量流量計 MBS-100SLPM-D/5M  

美國艾里卡特ALICAT壓力控制器 PC-15PSIA-D-485-IPC  5P/5IN  

美國艾里卡特ALICAT真空氣體質(zhì)量流量控制器 MCV-10SLPM-D,GAS:AIR  
美國艾里卡特ALICAT低壓降氣體質(zhì)量流量計 MB-100SCCM-D(0.4%FS)  
美國艾里卡特ALICAT低壓降氣體質(zhì)量流量計 MWB-20SLPM-D(Air)  
美國艾里卡特ALICAT低壓降氣體質(zhì)量流量計 MWB-10SLPM-D(Air)  
美國艾里卡特ALICAT流量校準儀 FP-25  
美國ALICAT艾里卡特RS232多功能集線盒套裝 BB9-232  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量計 M-100SLPM-D,高精度0.4%  
腐蝕性氣體流量計MS-100SLPM-D,高精度0.4%  
美國艾里卡特ALICAT耐腐蝕型氣體質(zhì)量流量計 MS-100SLPM-D-5VCRM/CM,GAS:SIH4  
美國艾里卡特ALICAT轉(zhuǎn)換接頭 SS-400-1-2  

美國艾里卡特ALICAT轉(zhuǎn)換接頭 SS-200-1-2  

美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量計 M-200SCCM-D(±0.8Rd+0.2FS)%  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量計 M-1000SCCM-D(±0.8Rd+0.2FS)%  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量計 M-500SCCM-D(±0.8Rd+0.2FS)%  
美國艾里卡特ALICAT壓力控制器 PC-30PSIG-D  
美國艾里卡特ALICAT壓力控制器 PC-100PSIG-D  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量計 M-50sccm(±0.4Rd+0.2FS)%  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器 MCR-500SLPM-PROFIBUS/GAS:Air  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量計 M-10SLPM-D/5M,GAS:AIR  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器 MC-25SLPM-PMCEMS-REV4  
美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器 MC-50SLPM-D,GAS:AIR  

美國艾里卡特ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器 MCRH-5000SLPM  

美國艾里卡特ALICAT防爆質(zhì)量流量計 SZ020-LL1-W-L-C1-X  
美國艾里卡特ALICAT防爆質(zhì)量流量計 SZ020-LL1-S-L-C1-X  
美國艾里卡特ALICAT空氣質(zhì)量流量控制器 MC-5SLPM-D-X/5M,5IN,TOT,GAS:AIR  
美國艾里卡特ALICAT空氣質(zhì)量流量控制器 PCD-15PSIG-D/5P,5IN,RANGE:900mbar,GAS:Air  
美國艾里卡特ALICAT低壓損質(zhì)量流量計 MW-0.5SCCM-D  
美國艾里卡特ALICAT空氣質(zhì)量流量控制器 MCR-100SLPM-D  
美國艾里卡特ALICAT低壓損氣體質(zhì)量流量控制器 MCRW-100SLPM-D/CM  
美國艾里卡特ALICAT液體質(zhì)量流量控制器 LCS-500SCCM  
美國艾里卡特ALICAT液體質(zhì)量流量控制器 LC-200SCCM-D  

水流量控制器LC-100SCCM-D  

美國艾里卡特ALICAT液體質(zhì)量流量控制器 LC-50SCCM-D  
美國艾里卡特ALICAT液體質(zhì)量流量控制器 LC-20SCCM-D  
美國艾里卡特ALICAT液體質(zhì)量流量控制器 LC-10SCCM-D  
美國艾里卡特ALICAT液體質(zhì)量流量控制器 LC-5SCCM-D  
美國艾里卡特ALICAT液體質(zhì)量流量控制器 LC-1SCCM-D-PCA13  
美國艾里卡特ALICAT液體質(zhì)量流量控制器 LC-1SCCM-D-PCA12  
美國艾里卡特ALICAT液體質(zhì)量流量控制器 LC-0.5SCCM-D-PCA11  
美國艾里卡特ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器 MCW-500SLPM-D  
美國艾里卡特ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器 MCW-250SLPM-D  
美國艾里卡特ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器 MCW-100SLPM-D  
美國艾里卡特ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器 MCW-50SLPM-D  
ALICAT質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器 氣體質(zhì)量流量控制器 MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器 

MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器
響應(yīng)式氣體流量控制，保證系統(tǒng)影響小
Whisper系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器，適用于在幾乎沒有可用系統(tǒng)壓力的情況下控制質(zhì)量流量和體積流量。低壓損將保證對系統(tǒng)產(chǎn)生小影響，實現(xiàn)接近大氣壓力條件下的流量控制并縮短系統(tǒng)響應(yīng)時間。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)，為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能，確保產(chǎn)品能夠在保持低壓損的同時實現(xiàn)快速、穩(wěn)定的控制。
多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
耐用。MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環(huán)境影響的耐受性，我們可以為您的質(zhì)量流量控制器構(gòu)建IP66等級防護。
艾里卡特Alicat提供先進的質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。
更多產(chǎn)品信息和資訊，歡迎瀏覽知識庫、行業(yè)應(yīng)用和新聞博客。
如需查看或下載產(chǎn)品說明書，請點擊Alicat文件中心。
Specs
定制
零件編號

性能
可用量程：大0-1000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
可調(diào)比：200:1（MC系列）
標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
可重復(fù)性：0.2%滿量程
標準控制器響應(yīng)時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
無需預(yù)熱時間
 
工作條件
兼容氣體：98種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：45 psig（60 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
 
包裝清單
MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
NIST可溯源校準證書
艾里卡特操作說明書
 
配件（需另行訂購）
過程端口接頭和過濾器
電源
通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
BB3和BB9多點式集線盒
Flow Vision軟件
查找配件
 
型號變體
標準配置型號，高160 psia（MC系列）
高壓應(yīng)用型號：160-320 psia（MCQ系列）
 
閥門選項
您可以為您的MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預(yù)期過程條件下保持佳性能。
MCW系列—選配小型比例控制閥，適用于2 slpm及以下量程
MCPW系列—選配大孔徑的小型比例控制閥（對耐腐蝕系列產(chǎn)品不適用）
MCHW系列—選配錘頭狀配置，將兩個小型閥門并排成對，用作一個閥門。
MCRW系列—選配幾乎無摩擦的大型Rolamite比例閥，適用于5 slpm及以上流量
 
結(jié)構(gòu)選項
通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
顯示屏（單色或彩色，內(nèi)置或面板安裝）
工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭）
彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）
 
性能選項
流量累加器
集成式電位計控制
高精度或自定義校準
查看所有選擇項目
MCW
MCPW
MCHW
MCRW
艾里卡特MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器采用小型比例閥門控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。
MCW-0.5SCCM-D
MCW-1SCCM-D
MCW-2SCCM-D
MCW-5SCCM-D
MCW-10SCCM-D
MCW-20SCCM-D
MCW-50SCCM-D
MCW-100SCCM-D
MCW-200SCCM-D
MCW-500SCCM-D
MCW-1SLPM-D
MCW-2SLPM-D
艾里卡特MCPW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器采用大孔徑的小型閥門，適用于非腐蝕性氣體。
MCPW-5SLPM-D
MCPW-10SLPM-D
艾里卡特MCHW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器將兩個小型閥門并排成對，用作一個閥門，適用于非腐蝕性氣體。
MCHW-5SLPM-D
MCHW-10SLPM-D
艾里卡特MCRW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器采用幾乎無摩擦的Rolamite閥門，可選用各種孔徑，實現(xiàn)對較大流量的控制，適用于非腐蝕性氣體。
MCRW-5SLPM-D
MCRW-10SLPM-D
MCRW-20SLPM-D
MCRW-40SLPM-D
MCRW-50SLPM-D
MCRW-100SLPM-D
MCRW-250SLPM-D
MCRW-500SLPM-D
MCRWH-1000SLPM-D-PAR
 
快速泄漏測試
對閥門或傳感器等體積較小的元件進行泄漏測試時，將一臺MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器設(shè)置在壓力控制模式，使其在實時提供準確的質(zhì)量流量和體積流量讀數(shù)的同時，還能確保被測試裝置保持恒定壓力。按照此種配置方法，僅一臺MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器便能執(zhí)行壓力控制器和質(zhì)量流量計的功能。
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 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器 氣體質(zhì)量流量控制器 MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器 
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model
MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器
響應(yīng)式氣體流量控制，適用于高壓應(yīng)用
MCQ系列氣體質(zhì)量流量控制器，同我們的標準控制器一樣，能對需要較高管線壓力（160-320 psia）的應(yīng)用環(huán)境進行快速控制響應(yīng)。這款高壓應(yīng)用質(zhì)量流量控制器可快速達到新的設(shè)定值，并保持該設(shè)定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能，確保相關(guān)產(chǎn)品能夠快速實現(xiàn)穩(wěn)定控制。
多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
耐用。MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環(huán)境影響的耐受性，我們可以為您的質(zhì)量流量控制器構(gòu)建IP66等級防護。
艾里卡特Alicat提供先進的質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。
更多產(chǎn)品信息和資訊，歡迎瀏覽知識庫、行業(yè)應(yīng)用和新聞博客。
如需查看或下載產(chǎn)品說明書，請點擊Alicat文件中心。
Specs
定制
零件編號
 
性能
可用量程：大0-5000 slpm；小0-10 sccm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
可調(diào)比：50:1
校準精度（NIST可溯源）：±2%滿量程
可重復(fù)性：0.2%滿量程
標準控制器響應(yīng)時間常數(shù)：50-100ms
無需預(yù)熱時間
 
工作條件
兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：305 psig（320 psia）
耐受壓力：400 psig（415 psia）
STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
 
包裝清單
MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
NIST可溯源校準證書
艾里卡特操作說明書
 
配件（需另行訂購）
過程端口接頭和過濾器
電源
通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
BB3和BB9多點式集線盒
Flow Vision軟件
查找配件
 
型號變體
腐蝕性氣體型號（MCS系列，見下文）
另有：
標準配置型號，適用于高達160 psia的環(huán)境（MC系列）
低壓損型號，多60 psia（MCW系列）
 
閥門選項
您可以為您的氣體質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預(yù)期過程條件下保持佳性能。
MCQ系列—選配小型比例控制閥，適用于20 slpm及以下量程
具有PCA名稱的MCQ系列—選配高性能比例控制閥，適用于壓力較高的某些應(yīng)用
MCH系列—選配錘頭狀配置，將兩個小型閥門并排成對，用作一個閥門。
MCR系列—選配幾乎無摩擦的大型Rolamite比例閥，適用于50 slpm及以上流量
 
腐蝕性氣體（MCQS系列）
MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置（即MCQS系列）可供選擇。該配置中，我們將閥門升級為303不銹鋼閥門，傳感器升級為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級為FFKM。對于某些腐蝕性氣體的整個流程，需采用316L不銹鋼，在這種情況下，我們可同時將滿量程為20slpm或更小流量計的閥門（PCA型）和流量儀表主體部分升級為316L材質(zhì)。
 
結(jié)構(gòu)選項
通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
顯示屏（單色或彩色，內(nèi)置或面板安裝）
工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭）
彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）
 
性能選項
流量累加器
集成式電位計控制
高精度或自定義校準
查看所有選擇項目
MCQ
MCHQ
MCRQ
MCQS
MCHQS
MCRQS

艾里卡特MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器采用小型比例閥門控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。

MCQ-10SCCM-D
MCQ-20SCCM-D
MCQ-50SCCM-D
MCQ-100SCCM-D
MCQ-200SCCM-D
MCQ-500SCCM-D
MCQ-1SLPM-D
MCQ-2SLPM-D
MCQ-5SLPM-D
MCQ-10SLPM-D
MCQ-20SLPM-D
艾里卡特MCHQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器將兩個小型閥門并排成對，用作一個閥門，適用于非腐蝕性氣體。
MCHQ-10SLPM-D
MCHQ-20SLPM-D
MCHQ-50SLPM-D
MCHQ-100SLPM-D
MCHQ-250SLPM-D
艾里卡特MCRQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器采用幾乎無摩擦的Rolamite閥門，可選用各種孔徑，實現(xiàn)對較大流量的控制，適用于非腐蝕性氣體。
MCRQ-50SLPM-D
MCRQ-100SLPM-D
MCRQ-250SLPM-D
MCRQ-500SLPM-D
MCRQ-1000SLPM-D
MCRQ-1500SLPM-D
MCRQ-2000SLPM-D-PAR
MCRQ-3000SLPM-D-PAR
MCRHQ-5000SLPM-D-PAR
艾里卡特MCQS系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器采用小型比例閥門控制較小的流量，適用于腐蝕性氣體。
MCQS-10SCCM-D
MCQS-20SCCM-D
MCQS-50SCCM-D
MCQS-100SCCM-D
MCQS-200SCCM-D
MCQS-500SCCM-D
MCQS-1SLPM-D
MCQS-2SLPM-D
MCQS-5SLPM-D
MCQS-10SLPM-D
MCQS-20SLPM-D
艾里卡特MCQS系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器采用小型比例閥門控制較小的流量，適用于腐蝕性氣體。
MCHQS-10SLPM-D
MCHQS-20SLPM-D
MCHQS-50SLPM-D
MCHQS-100SLPM-D
MCHQS-250SLPM-D
艾里卡特MCHQS系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器適用于腐蝕性氣體，將兩個閥門并排成對，用作一個閥門，實現(xiàn)對高壓應(yīng)用的更強大控制。
MCRQS-50SLPM-D
MCRQS-100SLPM-D
MCRQS-250SLPM-D
MCRQS-500SLPM-D
MCRQS-1000SLPM-D
MCRQS-1500SLPM-D
MCRQS-2000SLPM-D-PAR
MCRQS-3000SLPM-D-PAR
MCRHQS-5000SLPM-D-PAR

MCT,MCTS系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器
利用成比例流量控制功能完成換流
在多向氣體質(zhì)量流量控制器中，MCT系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器可以減少庫存并清理工作場所。位于上游的兩個閥門允許切換氣源。位于下游的兩個閥門允許在單個氣源上運行兩個**的過程系統(tǒng)。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)，為您定制閥門和PID功能，確保實現(xiàn)各個方向的快速、溫度控制。

多功能。MCT系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器將單個氣源用于兩個**的過程系統(tǒng)或者在單個過程系統(tǒng)中實現(xiàn)兩個**氣源的切換。切換氣源時，選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
耐用。MCT系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環(huán)境影響的耐受性，我們可為您的流量控制器構(gòu)建IP66等級防護。
艾里卡特Alicat提供先進的質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。

性能
可用量程：大0-5000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
可調(diào)比：200：1（MCT系列）或者100：1（MCTS系列）
標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
可重復(fù)性：0.2%滿量程
標準控制器響應(yīng)時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
無需預(yù)熱時間
工作條件

兼容氣體：98種（MCT系列）或130種（MCTS系列）種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
包裝清單

MCT系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
NIST可溯源校準證書
艾里卡特操作說明書
配件（需另行訂購）
過程端口接頭和過濾器
電源
通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
BB3和BB9多點式集線盒
Flow Vision軟件

ALICAT質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器 氣體質(zhì)量流量控制器 MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器 
簡單升級老化的熱式流量控制器
艾里卡特MCE或MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器是真空專用設(shè)備。MCE系列產(chǎn)品的特征如下：與我們標準質(zhì)量流量控制器的控制響應(yīng)速度一樣快，外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標準氣體質(zhì)量流量控制器實現(xiàn)端對端的匹配連接。
MCV和MCE聯(lián)系緊密，采用內(nèi)置氣動截止閥，適用于高真空應(yīng)用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設(shè)定點為零時出現(xiàn)污染情況。
多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
耐用。MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。
艾里卡特Alicat提供先進的質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。
更多產(chǎn)品信息和資訊，歡迎瀏覽知識庫、行業(yè)應(yīng)用和新聞博客。
如需查看或下載產(chǎn)品說明書，請點擊Alicat文件中心。
定制
零件編號
Applications

性能
可用量程：大0-20 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
可調(diào)比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
可重復(fù)性：0.2%滿量程
標準控制器響應(yīng)時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
氣動閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（大值，氦氣）
無需預(yù)熱時間
 
工作條件
兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
 
MCE或MCV系列包裝清單：
MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
NIST可溯源校準證書
艾里卡特操作說明書
 
配件（需另行訂購）
過程端口接頭和過濾器
電源
通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
BB3和BB9多點式集線盒
Flow Vision軟件
查找配置
 
型號變體
閥門內(nèi)置（確保與SEMI端口長度一致）型號（MCE系列）
閥門內(nèi)置并加裝氣動截止閥的型號，適合真空應(yīng)用（MCV系列）
腐蝕性氣體型號（MCS系列，見下文）
另有：
閥門安裝在外部的標準配置型號(MC系列)
 
閥門選項
您可以為您的質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預(yù)期過程條件下保持佳性能。
MCE系列—選配外部安裝的小型比例控制閥
MCV系列—選配內(nèi)部安裝的小型比例控制閥以及外部下游安裝的氣動截止閥
 
腐蝕性氣體（MCES和MCVS系列）
MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置（即MCES和MCVS系列）可供選擇。在該配置中，我們將閥門升級為303不銹鋼閥門，傳感器升級為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級為FFKM。
 
結(jié)構(gòu)選項
通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
顯示屏（單色或彩色，內(nèi)置或面板安裝）
工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO配件）
彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）
 
性能選項
流量累加器
集成式電位計控制
高精度或自定義校準
查看所有選擇項目
MCE
MCES
MCV
MCVS
艾里卡特MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部安裝的小型比例閥門控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。
MCE-0.5SCCM-D
MCE-1SCCM-D
MCE-2SCCM-D
MCE-5SCCM-D
MCE-10SCCM-D
MCE-20SCCM-D
MCE-50SCCM-D
MCE-100SCCM-D
MCE-200SCCM-D
MCE-500SCCM-D
MCE-1SLPM-D
MCE-2SLPM-D
MCE-5SLPM-D
MCE-10SLPM-D

MCE-20SLPM-D

艾里卡特MCES系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部安裝的小型比例閥門控制較小流量，適用于腐蝕性氣體。
MCES-0.5SCCM-D
MCES-1SCCM-D
MCES-2SCCM-D
MCES-5SCCM-D
MCES-10SCCM-D
MCES-20SCCM-D
MCES-50SCCM-D
MCES-100SCCM-D
MCES-200SCCM-D
MCES-500SCCM-D
MCES-1SLPM-D
MCES-2SLPM-D
MCES-5SLPM-D
MCES-10SLPM-D
MCES-20SLPM-D
艾里卡特MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部安裝的小型比例閥門控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。MCV還配有一個下游用的氣動截止閥。
MCV-0.5SCCM-D
MCV-1SCCM-D
MCV-2SCCM-D
MCV-5SCCM-D
MCV-10SCCM-D
MCV-20SCCM-D
MCV-50SCCM-D
MCV-100SCCM-D
MCV-200SCCM-D
MCV-500SCCM-D
MCV-1SLPM-D
MCV-2SLPM-D
MCV-5SLPM-D
MCV-10SLPM-D
MCV-20SLPM-D
艾里卡特MCVS系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部安裝的小型比例閥門控制較小流量，適用于腐蝕性氣體。MCVS還配有一個下游用的氣動截止閥。
MCVS-0.5SCCM-D
MCVS-1SCCM-D
MCVS-2SCCM-D
MCVS-5SCCM-D
MCVS-10SCCM-D
MCVS-20SCCM-D
MCVS-50SCCM-D
MCVS-100SCCM-D
MCVS-200SCCM-D
MCVS-500SCCM-D
MCVS-1SLPM-D
MCVS-2SLPM-D
MCVS-5SLPM-D
MCVS-10SLPM-D
MCVS-20SLPM-D
 
反應(yīng)濺射氣體流量控制
以50ms控制響應(yīng)速度精確控制真空室內(nèi)反應(yīng)氣體的分壓以避免靶件噴涂過度，良好的分辨率保證了適當?shù)脑俞尫?，氣動截止閥確保無流量時的正向切斷。
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 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器 氣體質(zhì)量流量控制器 BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器 
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model
BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器
OEM應(yīng)用中的基礎(chǔ)流量控制
對于大數(shù)額訂單，BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器，能為用戶提供可重復(fù)、可靠、經(jīng)濟的氣體流量控制方案。專為原始設(shè)備制造商（OEM）無應(yīng)力設(shè)備集成而設(shè)計的BASIS輕便靈巧、內(nèi)置高精度MEMS傳感器、并具有艾里卡特特有的快速閥門控制。
可靠。BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器絕不會讓您感到失望，NIST可溯源的精度與重復(fù)性使其在工作第700天時仍像天一樣。
靈敏。您不會再因為壓力峰值而毀了一整天。BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器具有業(yè)內(nèi)**的控制速度和閥門調(diào)節(jié)，能帶給用戶的益處將遠遠超出預(yù)期。
兼容。BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用范圍相當廣，輕便靈巧、多氣體標定、模擬及數(shù)字雙重通訊將為您的項目設(shè)計提供更大的靈活性。
艾里卡特Alicat提供先進的質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。
更多產(chǎn)品信息和資訊，歡迎瀏覽知識庫、行業(yè)應(yīng)用和新聞博客。
如需查看或下載產(chǎn)品說明書，請點擊Alicat文件中心。
Specs
定制
零件編號
Applications
 
性能
可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見零件編號標簽）
可調(diào)比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
校準精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數(shù)+0.5%滿量程）
可重復(fù)性：0.5%滿量程
標準控制器響應(yīng)時間常數(shù)：100ms（可利用PID調(diào)節(jié)功能調(diào)節(jié)）
預(yù)熱時間：70ms，達到完整精度
 
工作條件
兼容氣體：空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣、一氧化二氮（可通過串行連接選擇氣體）；訂購時還可以選擇氦氣或氫氣校準（僅使用一種氣體）
工作溫度：0°C至+50°C
大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：對于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；對于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）
 
包裝清單
BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
NIST可溯源校準證書
艾里卡特操作說明書
 
配件（需另行訂購）
過程端口接頭和過濾器
通訊線纜
Flow Vision軟件
查找配件
 
結(jié)構(gòu)選項
通訊協(xié)議（0-5 Vdc模擬通訊，RS-232、RS-485、Modbus-RTU）
工藝連接件（NPT或SAE）
多氣體校準（空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣、一氧化二氮）
單種氣體校準（氦氣、氫氣）
BC
BC-C0100 (1-100 sccm)
BC-C1000 (10-1000 sccm)
BC-L0020 (0.2-20 slpm)
BC-L0050 (0.5-50 slpm)
 
OEM氣體分析儀的流量控制
確保OEM分析儀器中精密流量測量?？焖俚拈y門響應(yīng)及高精度保證了傳輸?shù)椒治鰞x傳感器的氣體流量的可重復(fù)性和穩(wěn)定性。外形靈巧、瞬時響應(yīng)、數(shù)字模擬雙重通訊使得BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器可輕易集成于終端設(shè)備。
 
 
自動化氣體混合
采用可瞬時進行精密測量的BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器進行配氣。迅速反饋到PLC或PC的模擬及數(shù)字信號允許用戶實時調(diào)整流量設(shè)定值以達到預(yù)設(shè)混合比例。
 
 
艾里卡特Alicat液體流量控制器和流量計可準確完成水或甲醇、異丙醇、乙醇、氨、二甲基、戊烷、噻吩、標準異辛烷或庚烷等其它液體的流量測量并對其進行穩(wěn)定控制。所有液體流量儀表均配備放液螺釘，方便拆除集氣袋。

LC系列液體流量控制器特點如下：采用高速比例控制閥進行控制或分配應(yīng)用。

對于沒有控制閥的液體流量測量作業(yè)，請選擇L系列液體流量計，實時測量流量、壓力和溫度。

LB系列便攜式液體流量計加裝了可充電電池，方便檢驗實驗室外部的液體流量。

產(chǎn)品應(yīng)用：
微流體直接流量控制（LC系列液體流量控制器）
直接將流量控制低至0.01 ccm（10 μlm），無需對液體頂空實施壓力控制。
液體產(chǎn)品分配（LC系列液體流量控制器）
分配各種流速的液體產(chǎn)品，并對劑量進行精確控制。
液體流量特性測試（L系列液體流量計）
確定泵送流水流量或者醫(yī)用導(dǎo)管鹽水流量的特性。
冷卻系統(tǒng)泄漏檢測（LB系列液體流量計）
冷卻系統(tǒng)泄漏測試過程中，對流速進行量化。


MCD系列雙向氣體質(zhì)量流量控制器
全球全能的氣體流量控制器
在多向氣體質(zhì)量流量控制器中，艾里卡特MCD系列是世界上臺雙向氣體質(zhì)量流量控制器。這款儀器從一個方向控制流入流動或密閉過程系統(tǒng)的流量，再倒轉(zhuǎn)流向，還能同時完成各個方向流量、壓力和溫度的多元測量；或者在監(jiān)控流速的同時利用壓力控制功能控制進入密閉過程系統(tǒng)的流量，然后排空，且無需額外排氣閥。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能，確保實現(xiàn)對兩個方向的快速、穩(wěn)定的控制。

多功能。利用正壓或真空控制一個或者兩個方向的流量?；蛘呖刂七M入流動或端閉過程系統(tǒng)的壓力。（下載右側(cè)信息圖，了解流量圖表。）在所有情況下，均可完成多元測量（包括對質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度的測量）；此外還可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。雙向氣體質(zhì)量流量控制器利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
耐用。MCD系列雙向氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環(huán)境影響的耐受性，我們可為您的流量控制器構(gòu)建IP66等級防護。
艾里卡特Alicat提供先進的質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。


性能
可用量程：大-5000至+5000 slpm；小-0.5至 +0.5 sccm/-500 sμlm至500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
標準精度：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程），雙向
高精度（選配）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程），雙向
可重復(fù)性：0.2%滿量程
標準控制器響應(yīng)時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
無需預(yù)熱時間
工作條件

兼容氣體：98種（MCD系列）或130種（MCDS系列）種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
包裝清單

MCD系列雙向氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
NIST可溯源校準證書
艾里卡特操作說明書
配件（需另行訂購）

過程端口接頭和過濾器
電源
通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
BB3和BB9多點式集線盒
Flow Vision軟件
MCD系列雙向氣體質(zhì)量流量控制器,常用型號：
MCD-0.5SCCM-D
MCD-1SCCM-D
MCD-2SCCM-D
MCD-5SCCM-D
MCD-10SCCM-D
MCD-20SCCM-D
MCD-50SCCM-D
MCD-100SCCM-D
MCD-200SCCM-D
MCD-500SCCM-D
MCD-1SLPM-D
MCD-2SLPM-D
MCD-5SLPM-D
MCD-10SLPM-D
MCD-20SLPM-D

MCPD-10SLPM-D
MCPD-20SLPM-D
MCPD-50SLPM-D
MCPD-100SLPM-D
MCPD-250SLPM-D

MCRD-50SLPM-D
MCRD-100SLPM-D
MCRD-250SLPM-D
MCRD-500SLPM-D
MCRD-1000SLPM-D
MCRD-1500SLPM-D
MCRD-2000SLPM-D-PAR
MCRD-3000SLPM-D-PAR

MCDS-0.5SCCM-D
MCDS-1SCCM-D
MCDS-2SCCM-D
MCDS-5SCCM-D
MCDS-10SCCM-D
MCDS-20SCCM-D
MCDS-50SCCM-D
MCDS-100SCCM-D
MCDS-200SCCM-D
MCDS-500SCCM-D
MCDS-1SLPM-D
MCDS-2SLPM-D
MCDS-5SLPM-D
MCDS-10SLPM-D
MCDS-20SLPM-D

MCRDS-50SLPM-D
MCRDS-100SLPM-D
MCRDS-250SLPM-D
MCRDS-500SLPM-D
MCRDS-1000SLPM-D
MCRDS-1500SLPM-D
MCRDS-2000SLPM-D-PAR
MCRDS-3000SLPM-D-PAR

MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器
全能的氣體流量控制器（對系統(tǒng)影響極?。?br /> 在多向氣體質(zhì)量流量控制器中，Whisper系列雙向質(zhì)量流量控制器非常適用于在幾乎沒有可用系統(tǒng)壓力的情況下控制質(zhì)量流量和體積流量。低壓損將保證對系統(tǒng)產(chǎn)生小影響，實現(xiàn)接近大氣壓力條件下的流量控制并縮短系統(tǒng)響應(yīng)時間。艾里卡特MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器在非常全能的MCD系列雙向流量控制器基礎(chǔ)上增加了低壓損優(yōu)點。
MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器從一個方向控制流入流動或密閉過程系統(tǒng)的流量，再倒轉(zhuǎn)流向，還能同時完成各個方向流量、壓力和溫度的多元測量；或者在監(jiān)控流速的同時利用壓力控制功能控制進入密閉過程系統(tǒng)的流量，接著排空，且無需額外排氣閥。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能，確保實現(xiàn)對兩個方向的快速、穩(wěn)定的控制。

多功能。MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器利用正壓或真空控制一個或者兩個方向的流量。或者控制進入流動或端閉過程系統(tǒng)的壓力。（下載右側(cè)信息圖，了解流量圖表。）在所有情況下，都可完成多元測量（包括對質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度的測量）；此外還可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
耐用。MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環(huán)境影響的耐受性，我們可為您的流量控制器構(gòu)建IP66等級防護。
艾里卡特Alicat提供先進的質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。

性能

可用量程：大-5000至+5000 slpm；小-0.5至 +0.5 sccm/-500 sμlm至500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號）
標準精度：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程），雙向
高精度（選配）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程），雙向
可重復(fù)性：0.2%滿量程
標準控制器響應(yīng)時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
無需預(yù)熱時間
工作條件

兼容氣體：98種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：45 psig（60 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
包裝清單

MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
NIST可溯源校準證書
艾里卡特操作說明書
配件（需另行訂購）

過程端口接頭和過濾器
 電源
 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
 BB3和BB9多點式集線盒
Flow Vision軟件

呼吸設(shè)備雙向流量壓力性能對比測試
按照與呼吸頻率相符的流速，雙向控制進出呼吸設(shè)備的流量，模擬人類呼吸。低壓損的MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器還可在施加極小壓力的情況下緩慢“呼吸”。

遠程空氣采樣和校準雙向流量控制
從一個方向利用真空泵完成大氣采樣，接著從另一個方向利用正壓定期校準氣體分析儀；對于前述所有操作，均無需斷開系統(tǒng)任何部分。低壓損的MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品允許在16.7lpm標準流量下完成體積流量采樣。這使得在無人介入的情況下也能完成遠程空氣監(jiān)測站的操作和校準。

MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器常用型號：
MCDW-0.5SCCM-D
MCDW-1SCCM-D
MCDW-2SCCM-D
MCDW-5SCCM-D
MCDW-10SCCM-D
MCDW-20SCCM-D
MCDW-50SCCM-D
MCDW-100SCCM-D
MCDW-200SCCM-D
MCDW-500SCCM-D
MCDW-1SLPM-D
MCDW-2SLPM-D

MCRDW-5SLPM-D
MCRDW-10SLPM-D
MCRDW-20SLPM-D
MCRDW-40SLPM-D
MCRDW-50SLPM-D
MCRDW-100SLPM-D
MCRDW-250SLPM-D
MCRDW-500SLPM-D

MCT系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器
利用成比例流量控制功能完成換流
在多向氣體質(zhì)量流量控制器中，MCT系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器可以減少庫存并清理工作場所。位于上游的兩個閥門允許切換氣源。位于下游的兩個閥門允許在單個氣源上運行兩個**的過程系統(tǒng)。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)，為您定制閥門和PID功能，確保實現(xiàn)各個方向的快速、溫度控制。

多功能。MCT系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器將單個氣源用于兩個**的過程系統(tǒng)或者在單個過程系統(tǒng)中實現(xiàn)兩個**氣源的切換。切換氣源時，選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產(chǎn)品輕松整合到