日本KOFLOC科賦樂DF-500C/DF-250C氣體質量流量控制器,5400/8500MC金屬密封流量計,3660/3665/3760/DS3810II現(xiàn)貨

日本科賦樂KOFLOC3660質量流量控制器的概述：科賦樂KOFLOC3660質量流量控制器科賦樂KOFLOC3660質量流量控制器適用于高真空、半導體、劇毒、強腐蝕氣體環(huán)境下，±15VDC供電性能穩(wěn)定，05V模擬信號更加通用

3660系列設計精密，成本較低。用于各個不同的領域從實驗室和研究開發(fā)項目到各種儀器設備的標準采用機種發(fā)揮了很好的實際效果，另外還有有各種衍生功能可選

日本科賦樂KOFLOC3660質量流量控制器的性能參數(shù)

日本KOFLOC 3660系列質量流量控制器設計精密，成本較低。用于不同的領域，從實驗室和研究開發(fā)項目到各種分析儀器、真空裝置的標準采用機種，發(fā)揮了很好的實際效果。各種衍生的型號和附屬品可選。

產品特色：

通過采用改良型恒定電流溫度差檢測方式流量傳感器，實現(xiàn)快速回應。

通用的常閉型閥門確保了安全

使用電磁執(zhí)行器保證了高效的可靠性

低差壓類型控制適用于燃燒的氣體（LP可選）

另有針對PM2.5設備特制品：流量16.7L/MIN，低壓差15Kpa既可，特價供應，高性價比

技術參數(shù)：

流量FS(N2換算)：10SCCM-20SLPM(3660系列)

30SLPM-100SLPM(3665系列)

氣體種類：所有氣體(腐蝕性、有毒、特殊氣體都可)

傳感器類型：熱式傳感器

閥門類型：電磁比例閥，常閉

控制范圍：2%-100%(3660系列)

5%-100%(3665系列)

控制速度：2%-100%,2秒以內

控制精度：±1.0%FS(3660系列)

±1.5%FS(3665系列)

重復性：±0.5%FS

工作差壓：滿量程FS≤5升/分鐘，49-294Kpa

5升/分鐘≤滿量程FS≤100升/分鐘，98-294Kpa

低差壓特制：2-149Kpa，根據(jù)具體流量來定制

高差壓特制：294-784Kpa，根據(jù)具體流量來定制

使用溫度：0-50℃

允許濕度：0-90%

泄漏率：大為1x10-8Pa.m3 /sec（不包含He）

產品材質：主體-SUS316

密封圈：Viton

可另選：氯丁橡膠，丁腈橡膠NBR

管路接頭：1/4英寸卡套(3660系列)

3/8英寸卡套(3665系列)

可另選：1/8英寸卡套、1/4英寸VCR、RC1/4英寸、特殊要求可定制

電氣接頭：D型9針

輸入信號：0-5V(模擬信號)

輸出信號：0-5V(模擬信號)

供應電源：+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)200mA

產品重量：800g(3660系列)、1000G(3665系列.

電氣D型9針連線示意圖：

1號針：閥門開關信號(可不接)

2號針：輸出信號0-5V

3號針：電源+15VDC

4號針：電源COM

5號針：電源-15VDC(

6號針：輸入信號0-5V

7號針：輸出信號COM

8號針：輸入信號COM

9號針：閥門電壓輸出日本科賦樂KOFLOC質量流量控制器使用注意：

一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。

二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。

三：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進口大壓力3公斤。

五：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。

日本KOFLOCDF550C系列氣體質量流量控制器 質量流量計

簡要描述：

日本KOFLOCDF550C系列質量流量控制器金屬密封數(shù)字式

DF550C是基于DF200C基礎上的金屬密封產品，它除開擁有DF200

的高精度、高速度性能之外，在泄漏率方面做的更低，非常適用于

高真空、強腐蝕、劇毒氣體等等在對泄漏率有高要求場合DF550C系列

日本KOFLOCDF550C系列氣體質量流量控制器金屬密封數(shù)字式

高真空、強腐蝕、劇毒氣體等等在對泄漏率有高要求場合

泄漏率：1*1011pa·m3/s以下

金屬密封，適用于對泄漏率有高要求場合

性能參數(shù)

日本KOFLOC 5400系列質量流量控制器/計無焊接結構，金屬密封，精確度≤±1%，反應時間≤±1/秒，基本性能適用于半導體過程控制，實現(xiàn)了劃時代的低成本。型號5410系列同樣主體的設計價格也十分合理。適用于高真空設備、半導體潔凈室、高純氣體輸送等對泄漏率有很高要求的場合。

通過安裝溫度流量傳感器得到高精確的快速回應

通用的常閉型閥門

無焊接構造，金屬密封確保低的泄露,泄漏率1×10-11Pa?m3/s

采用膈膜閥減少了死區(qū)

間距，主體尺寸和連接的設計可以和其它生產商的控制器兼容

流量FS(N2換算)：10SCCM-20SLM

氣體種類：所有氣體(腐蝕性、有毒、特殊氣體都可)，高純氣體

控制范圍：2%-100%

控制速度：2%-100%,1秒以內

另可選：QS快啟動，反映時間更快

控制精度：±1.0%FS以內

線性：

±0.5%FS以內

重復性：

±0.2%FS以內

產品耐壓：980Kpa

泄漏率：大為1x10-11Pa.m3 /sec以內

允許濕度：10-90%

產品材質：主體-SUS316L

密封圈：SUS316L

管路接頭：1/4英寸VCR

產品重量：1000g

6號針：輸入信號(高)

8號針：輸入信號(低)

9號針：閥門工作電壓反饋(可不接)

日本KOFLOC8500MM質量流量計配備了LED顯示表頭、RS232/485通訊、多種報警輸出信號使用產品上市以來受到各個行業(yè)的客戶青睞，尤其是高校/研究院等單位方便、快捷、直觀是8500MM帶客戶的重要體驗日本KOFLOC8500MM質量流量計的性能參數(shù)：

日本KOFLOC DF250C系列質量流量控制器設計精密，精度高，速度快成本較低。用于不同的領域，從實驗室和研究開發(fā)項目到各種分析儀器、真空裝置、半導體設備、環(huán)境環(huán)保儀器、燃燒焊接、新能源設備、生物醫(yī)療 等等的標準采用機種，發(fā)揮了很好的實際效果。

通過采用熱式原理的全新芯片流量傳感器，實現(xiàn)快速回應。

標配RS485通訊，數(shù)字信號保證了控制的精確性，不受外界干擾

流量FS(N2換算)：10SCCM-300SLPM

氣體種類：所有氣體

傳感器類型：熱式芯片傳感器

控制速度：1秒以內(0-50SLM)、1.5秒以內(100-150SLM)、2秒以內(200-300SLM)

控制精度：±1.0%FS(0-150SLM)、±2.0%FS(150-300SLM)、

重復性：±0.25%FS

工作差壓：50-350Kpa

可另選：PTFE、氯丁橡膠，丁腈橡膠NBR

管路接頭：1/4、1/2、3/4英寸卡套

可另選：VCR、RC螺紋可選

電氣接頭：DB型9針

數(shù)字接口：RS485，MODBUS-RTU 或 ASCII協(xié)議 (以太網接口2個，多串聯(lián)99臺)

供應電源：1：+15VDC(±5%)100mA，-15VDC(±5%)200mA

2：+24VDC(±10%)300mA大

熱式質量流量控制器是一種常用于氣體流量控制的設備，它通過測量氣體的熱量傳導能力來實現(xiàn)對氣體流量的精確控制。利用了熱量傳導定律，即在給定的空間內，當流過相同截面積的兩側的氣體溫度差固定時，其熱量傳導速率與流量成正比。

KOFLOC 科賦樂 質量流量控制器

3665-3/8SW

搭載恒流溫差檢測式流量傳感器的高速響應質量流量控制器。

采用常閉閥門，操作方向安全。

規(guī)格

閥門類型 比例電磁閥（斷電時關閉）

傳感器類型 熱線繞傳感器

再現(xiàn)性±0.5%滿量程

耐壓（kPa）980(G)

泄漏率（Pa?m 3 /秒）1×10-8以下（不包括He透射）

熱式質量流量控制器通過以下步驟實現(xiàn)對氣體流量的測量和控制：

1.提供恒定的加熱功率：控制器內部配備了一個或多個加熱絲，通過電流加熱絲，使其保持恒定的溫度。

2.測量溫度差：在加熱絲的上游和下游位置設置溫度傳感器，分別測量兩處的溫度。由于氣體流經加熱絲時會帶走部分熱量，因此上游和下游位置的溫度存在差異。

3.計算流量：根據(jù)測得的溫度差、加熱功率以及氣體的熱導率等參數(shù)，計算出流經流量控制器的氣體流量。

4.反饋控制：將計算得到的流量與設定值進行比較，通過調節(jié)控制閥門的開度，使得實際流量接近設定值。

主要組成部分構成：

1.流量傳感器：包括加熱絲和溫度傳感器。加熱絲通常由細絲或薄膜形成，具有較高的電阻率和快速響應特性；溫度傳感器可采用熱電阻或熱敏電阻等。

2.控制閥門：用于調節(jié)氣體流量，通常采用電磁閥控制閥門的開度。

3.控制電路：包括測量電路、計算電路和反饋控制電路等，用于實時采集和處理溫度、電流信號，并進行流量計算和控制。

熱式質量流量控制器的工作過程如下：

1. 初始化：在啟動前，先對質量流量控制器進行初始化，包括校準和零點調整等。

2. 
   

2.測量和計算：啟動后，加熱絲開始工作，通過測量上游和下游位置的溫度，計算出實際流量值。

3.控制閥調節(jié)：將實際流量值與設定值進行比較，根據(jù)差異調節(jié)電磁閥門的開度，使實際流量逐漸接近設定值。

4.反饋控制：通過不斷的測量和調節(jié)，實現(xiàn)精確的流量控制。同時，控制電路會監(jiān)測控制閥門的工作狀態(tài)和溫度變化等，以保證系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。

適用于以下場景：

1.實驗室研究：用于氣體進樣、流量控制和調節(jié)等實驗需求。

2.半導體制造：用于氣體送入、化學蝕刻、氣相沉積等過程的流量控制。

3.環(huán)境監(jiān)測：用于氣體排放、燃燒過程的流量控制和檢測。

4.化學工程：用于化學反應、氣體供應系統(tǒng)等的流量控制和調節(jié)。

5.醫(yī)療器械：用于氣體輸送、呼吸機等醫(yī)療設備中的流量控制。

日本KFLOC DF550C系列數(shù)字式質量流量控制器，金屬密封,泄漏率1×10-11Pa?m3/s

標配RS485，MODBUS-RTU協(xié)議 (以太網RJ-45網線接口2個，多串聯(lián)99臺)，適用于高真空

設備、半導體行業(yè)、高純氣體/強腐蝕/有毒氣體 等對泄漏率有高要求的場合。

無焊接構造，金屬密封確保低的泄露,泄漏率1×10-11Pa?m3/s

間距，主體尺寸和連接的設計可以和其它生產商的控制器兼容00mA大

流量FS(N2換算)：10SCCM-10SLM

傳感器類型：新型熱式傳感器

產品重量：1100g