KOFLOC流量控制器3660-RC1/4-AR-5SLM氣體質(zhì)量流量計5400-1/4VCR-O2-300sccm-20°CPSK-3FB現(xiàn)貨DS3810II

日本KOFLOC 3660系列質(zhì)量流量控制器設(shè)計精密，成本較低。用于不同的領(lǐng)域，從實驗室和研究開發(fā)項目到各種分析儀器、真空裝置的標(biāo)準(zhǔn)采用機種，發(fā)揮了很好的實際效果。各種衍生的型號和附屬品可選。

產(chǎn)品特色：

通過采用改良型恒定電流溫度差檢測方式流量傳感器，實現(xiàn)快速回應(yīng)。

通用的常閉型閥門確保了安全

使用電磁執(zhí)行器保證了高效的可靠性

低差壓類型控制適用于燃燒的氣體（LP可選）

另有針對PM2.5設(shè)備特制品：流量16.7L/MIN，低壓差15Kpa既可，特價供應(yīng)，高性價比

技術(shù)參數(shù)：

流量FS(N2換算)：10SCCM-20SLPM(3660系列)

30SLPM-100SLPM(3665系列)

氣體種類：所有氣體(腐蝕性、有毒、特殊氣體都可)

傳感器類型：熱式傳感器

閥門類型：電磁比例閥，常閉

控制范圍：2%-100%(3660系列)

5%-100%(3665系列)

控制速度：2%-100%,2秒以內(nèi)

控制精度：±1.0%FS(3660系列)

±1.5%FS(3665系列)

重復(fù)性：±0.5%FS

工作差壓：滿量程FS≤5升/分鐘，49-294Kpa

5升/分鐘≤滿量程FS≤100升/分鐘，98-294Kpa

低差壓特制：2-149Kpa，根據(jù)具體流量來定制

高差壓特制：294-784Kpa，根據(jù)具體流量來定制

使用溫度：0-50℃

允許濕度：0-90%

泄漏率：大為1x10-8Pa.m3 /sec（不包含He）

產(chǎn)品材質(zhì)：主體-SUS316

密封圈：Viton

可另選：氯丁橡膠，丁腈橡膠NBR

管路接頭：1/4英寸卡套(3660系列)

3/8英寸卡套(3665系列)

可另選：1/8英寸卡套、1/4英寸VCR、RC1/4英寸、特殊要求可定制

電氣接頭：D型9針

輸入信號：0-5V(模擬信號)

輸出信號：0-5V(模擬信號)

供應(yīng)電源：+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)200mA

產(chǎn)品重量：800g(3660系列)、1000G(3665系列.

電氣D型9針連線示意圖：

1號針：閥門開關(guān)信號(可不接)

2號針：輸出信號0-5V

3號針：電源+15VDC

4號針：電源COM

5號針：電源-15VDC(

6號針：輸入信號0-5V

7號針：輸出信號COM

8號針：輸入信號COM

9號針：閥門電壓輸出

日本KOFLOC 5400系列質(zhì)量流量控制器/計無焊接結(jié)構(gòu)，金屬密封，精確度≤±1%，反應(yīng)時間≤±1/秒，基本性能適用于半導(dǎo)體過程控制，實現(xiàn)了劃時代的低成本。型號5410系列同樣主體的設(shè)計價格也十分合理。適用于高真空設(shè)備、半導(dǎo)體潔凈室、高純氣體輸送等對泄漏率有很高要求的場合。

通過安裝溫度流量傳感器得到高精確的快速回應(yīng)

通用的常閉型閥門

無焊接構(gòu)造，金屬密封確保低的泄露,泄漏率1×10-11Pa?m3/s

采用膈膜閥減少了死區(qū)

間距，主體尺寸和連接的設(shè)計可以和其它生產(chǎn)商的控制器兼容

流量FS(N2換算)：10SCCM-20SLM

氣體種類：所有氣體(腐蝕性、有毒、特殊氣體都可)，高純氣體

控制范圍：2%-100%

控制速度：2%-100%,1秒以內(nèi)

另可選：QS快啟動，反映時間更快

控制精度：±1.0%FS以內(nèi)

線性：

±0.5%FS以內(nèi)

重復(fù)性：

±0.2%FS以內(nèi)

產(chǎn)品耐壓：980Kpa

泄漏率：大為1x10-11Pa.m3 /sec以內(nèi)

允許濕度：10-90%

產(chǎn)品材質(zhì)：主體-SUS316L

密封圈：SUS316L

管路接頭：1/4英寸VCR

產(chǎn)品重量：1000g

6號針：輸入信號(高)

8號針：輸入信號(低)

9號針：閥門工作電壓反饋(可不接)

日本KOFLOC DF250C系列質(zhì)量流量控制器設(shè)計精密，精度高，速度快成本較低。用于不同的領(lǐng)域，從實驗室和研究開發(fā)項目到各種分析儀器、真空裝置、半導(dǎo)體設(shè)備、環(huán)境環(huán)保儀器、燃燒焊接、新能源設(shè)備、生物醫(yī)療 等等的標(biāo)準(zhǔn)采用機種，發(fā)揮了很好的實際效果。

通過采用熱式原理的全新芯片流量傳感器，實現(xiàn)快速回應(yīng)。

標(biāo)配RS485通訊，數(shù)字信號保證了控制的精確性，不受外界干擾

流量FS(N2換算)：10SCCM-300SLPM

氣體種類：所有氣體

傳感器類型：熱式芯片傳感器

控制速度：1秒以內(nèi)(0-50SLM)、1.5秒以內(nèi)(100-150SLM)、2秒以內(nèi)(200-300SLM)

控制精度：±1.0%FS(0-150SLM)、±2.0%FS(150-300SLM)、

重復(fù)性：±0.25%FS

工作差壓：50-350Kpa

可另選：PTFE、氯丁橡膠，丁腈橡膠NBR

管路接頭：1/4、1/2、3/4英寸卡套

可另選：VCR、RC螺紋可選

電氣接頭：DB型9針

數(shù)字接口：RS485，MODBUS-RTU 或 ASCII協(xié)議 (以太網(wǎng)接口2個，多串聯(lián)99臺)

供應(yīng)電源：1：+15VDC(±5%)100mA，-15VDC(±5%)200mA

2：+24VDC(±10%)300mA大

日本KFLOC DF550C系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器，金屬密封,泄漏率1×10-11Pa?m3/s

標(biāo)配RS485，MODBUS-RTU協(xié)議 (以太網(wǎng)RJ-45網(wǎng)線接口2個，多串聯(lián)99臺)，適用于高真空

設(shè)備、半導(dǎo)體行業(yè)、高純氣體/強腐蝕/有毒氣體 等對泄漏率有高要求的場合。

無焊接構(gòu)造，金屬密封確保低的泄露,泄漏率1×10-11Pa?m3/s

間距，主體尺寸和連接的設(shè)計可以和其它生產(chǎn)商的控制器兼容00mA大

流量FS(N2換算)：10SCCM-10SLM

傳感器類型：新型熱式傳感器

產(chǎn)品重量：1100g

美國porter恒壓差質(zhì)量流量控制器設(shè)計用來控制 小流量氣體的質(zhì)量流量 ，并且該質(zhì)量流量不隨出口壓力的變化而改變。 VCD1000 通過維持層流部件前后的一個預(yù)設(shè)的壓差來控制流量，并且閥桿旋轉(zhuǎn)與流量輸出成線性關(guān)系。當(dāng)入口壓力保持恒定時，通過改變層流部件前后的壓差（ Δ P ）來調(diào)節(jié)流量。差壓是通過一個精細的螺絲調(diào)節(jié)來改變的，具體而言，通過螺絲調(diào)節(jié)改變了作用在隔膜上的彈簧力從而改變差壓。該差壓（ Δ P ）一旦設(shè)置，都能維持不變，而不管出口壓力是否變化。

設(shè)計特點

旋鈕旋轉(zhuǎn)和流量呈線性關(guān)系

無須特殊工具，通過更換不同的層流部件就可以實現(xiàn)從 1 ccm/m 到 1500 ccm/m 的流量范圍，從而節(jié)省成本。

調(diào)節(jié)桿采用 Delrin 螺紋可以任意調(diào)節(jié)流量

氣密性關(guān)斷截止是在閥孔處實現(xiàn)的，從而確保隔膜膜片不是從一側(cè)受到壓力

包括一個可更換的入口過濾器

適合面板安裝

產(chǎn)品規(guī)格

流量范圍： 詳情請電話咨詢

大操作壓力： 250 psig （ 1.72MPa ）

大操作溫度： 160 ℉ （ 71 ℃）

小壓降要求： 15 psi （ 0.10MPa ）

控制精度： 0.3% 瞬時流量

調(diào)節(jié)度： 0-100% 的流量，超過 14 轉(zhuǎn)

連接 : 鋁主體時為 1/8” Swagelok （銅）；不銹鋼主體時為 1/8” Swagelok （不銹鋼）。

結(jié)構(gòu)材質(zhì)

控制器主體材質(zhì)：鋁或不銹鋼

控制器隔膜材質(zhì)： Fairprene BN-5029 或不銹鋼

孔材質(zhì)：鋁主體時為銅；不銹鋼主體時為不銹鋼 “ O ”型環(huán)材質(zhì)： Buna N 或 Viton

過濾器材質(zhì)：鋁主體時為鋁，不銹鋼主體時為不銹鋼